Phương pháp gia công có độ chính xác gia công lên tới 1 μ M. Gia công chính xác được thực hiện bằng cách sử dụng các máy công cụ chính xác, dụng cụ đo và máy đo dưới sự kiểm soát chặt chẽ của các điều kiện môi trường. Nó được gọi là gia công siêu chính xác khi độ chính xác gia công đạt hoặc vượt quá 0,1 μ M.

Hiệu quả công nghệ của gia công chính xác như sau:

Độ chính xác của hình dạng hình học và vị trí lẫn nhau của các bộ phận có thể đạt micron hoặc góc thứ hai;

Giới hạn hoặc dung sai kích thước tính năng của phần nằm dưới micromet;

Độ không đồng đều của bề mặt (chênh lệch chiều cao trung bình của độ không đồng đều bề mặt) của các bộ phận nhỏ hơn 0,1 μ m;

Các phụ kiện lẫn nhau có thể đáp ứng các yêu cầu của lực kết hợp;

Một số bộ phận cũng có thể đáp ứng các yêu cầu về tính chất cơ học chính xác hoặc vật lý khác;